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检测标准:
1 颗粒 GB/T17874-20104.8 颗粒
2 总杂质含量 GB/T17874-20104.2 总杂质含量
3 金属离子 GB/T17874-20104.7 金属离子
4 三氯化硼纯度 GB/T17874-20104.2 三氯化硼纯度
5 氧+氩含量GB/T17874-2010附录A 氧+氩含量
6 氮含量GB/T17874-2010附录A 氮含量
7 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T17874-20104.8 颗粒
8 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T17874-20104.2 总杂质含量
9 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T17874-20104.7 金属离子
10 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T17874-20104.2 三氯化硼纯度
11 电子工业用气体 三氯化硼GB/T17874-2010附录A 氧+氩含量
12 电子工业用气体 三氯化硼GB/T17874-2010附录A 氮含量