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检测标准:
1 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T28726-2012 As、B、P
2 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法 GB/T28727-2012 二氧化硫含量
3 环境空气 二氧化硫的测定四氯汞盐吸收-副玫瑰苯胺分光光度法 HJ 483-2009 二氧化硫含量
4 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T28726-2012 六氟二甲基硅醚
5 电子工业用气体 四氟化硅 GB/T31058-2016 4.2 四氟化硅纯度
6 电子工业用气体 四氟化硅 GB/T31058-2014 4.2 总杂质含量
7 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T28726-2012 4.3 氮含量
8 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法 GB/T28727-2012 硫化氢含量
9 电子工业用气体 四氟化硅 GB/T31058-2016 颗粒
10 气体分析 硫化物的测定火焰光度气相色谱法 二氧化硫含量
11 电子工业用气体四氟化硅 As、B、P
12 气体分析氦离子化气相色谱法 甲烷含量
13 电子工业用气体四氟化硅 总杂质含量
14 电子工业用气体四氟化硅 颗粒
15 电子工业用气体四氟化硅 六氟二甲基硅醚