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检测标准:
1 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T1558-2009 代位碳
2 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法GB/T1553-2009 体内少数载流子寿命
3 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法GB/T31854-2015 基体金属杂质铬、铁、镍、铜、锌
4 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 GB/T4059-2018 多晶硅转化为单晶硅
5 非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1550-2018 导电类型
6 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法GB/T24581- 2009 硼、镓、铝、磷、砷、锑
7 酸浸渍-电感耦合等离子体质谱仪测定多晶硅表面金属杂质GB/T24582-2009 表面金属杂质铁、铬、镍、铜、锌、铝、钠、钾
8 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1557-2018 间隙氧
9 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法GB/T1551-2021 电阻率
10 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试方法GB/T24581-2022 硼、镓、铝、磷、砷、锑