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检测标准:
1 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 22.3 保护接地电路的连续性
2 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 22.2 带插头设备的泄漏电流测试
3 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 22.7 应力测试
4 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 22.4 开机电流测试
5 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 22.15 手指探测试验
6 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 22.13 温度测试
7 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 22.6 耐压测试
8 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 22.5 输入测试
9 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 带插头设备的泄漏电流测试
10 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 保护接地电路的连续性
11 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 开机电流测试
12 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 输入测试
13 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 耐压测试
14 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 应力测试
15 半导体制造设备电气设计的安全指南 SEMIS22-0718E 温度测试