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检测标准:
1 硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法 GB/T29056-2012 杂质:(硼、铝、磷、铬、锰、铁、钴、镍、铜)
2 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法DB53/T 500-2013 氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅
3 工业三氯氢硅 GB/T28654-20186.2 二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷聚合物
4 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法YS/T 1300-2019 甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷
5 硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法 GB/T29056-2012 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑